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白光干涉儀具有測(cè)量準(zhǔn)確度高等諸多優(yōu)勢(shì)

更新時(shí)間:2022-05-19  |  點(diǎn)擊率:1420
  白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
 
  白光干涉儀可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
 
  目前儀器可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
 
  產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
  1、美國(guó)硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件。
  2、關(guān)鍵硬件采用美國(guó)、德國(guó)、日本等。
  3、PI納米移動(dòng)平臺(tái)及控制系統(tǒng)。
  4、Nikon干涉物鏡。
  5、NI信號(hào)控制板和Labview64 控制軟件。
  6、TMC光學(xué)隔振臺(tái)。
  7、測(cè)量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到不錯(cuò)的水平。
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