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FSM413紅外激光測厚儀主要產品包括:光學測量設備:三維輪廓儀、拉曼光譜、 薄膜應力測量設備、 紅外干涉厚度測量設備、電學測量設備:高溫四探針測量設備、非接觸式片電阻及漏電流測量設備、金屬污染分析、等效氧化層厚度分析（EOT）

FR-Ultra 是一款專用于精確測量半導體以及介電材料超厚層的專用設備。 藉由先進的光學器件，FR-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。