在過去的幾十年中，生物技術(shù)器件的小型化極大地改善了臨床診斷，藥物研究和分析化學?，F(xiàn)代生物技術(shù)器件——如用于診斷、細胞分析和藥物發(fā)現(xiàn)的生物醫(yī)學MEMS (bioMEMS)——通常是基于芯片的，依賴于微米級和納米級生物物質(zhì)的密切相互作用。根據(jù)市場研究和策略咨詢公司YoleDéveloppement的報告，越來越多的醫(yī)療保健應用正在使用bioMEMS組件，而bioMEMS市場預計將從2015年的27億美元增長至2021年的76億美元，增長近三倍。到2021年，微流控器件將占生物醫(yī)學MEMS市場總量的86%，主要應用領(lǐng)域包括即時檢測、臨床和獸醫(yī)診斷、制藥和生命科學研究以及藥物輸送。

在高門檻、嚴監(jiān)管且快速增長的市場環(huán)境下，精確且高性價比的微結(jié)構(gòu)化技術(shù)對于這一類產(chǎn)品的成功商業(yè)化至關(guān)重要。傳統(tǒng)的工藝方法（例如注塑成型）通常無法生產(chǎn)出極小的結(jié)構(gòu)和表面圖案，而這些要求苛刻的應用對于精度、質(zhì)量和可重復性的要求越來越高，或是需要在工藝開發(fā)方面投入大量精力。與此同時，為了實現(xiàn)規(guī)模效應，解決方案需要從離散的器件生產(chǎn)擴展到在單個基板上批量處理多個器件。

NIL納米壓印技術(shù)已經(jīng)從一項小眾技術(shù)發(fā)展成為強大的大批量制造方法，通過壓印進入生物相容性光刻膠或直接進入散裝材料，能夠大規(guī)模生產(chǎn)多種不同尺寸和形狀的結(jié)構(gòu)——例如高度復雜的微流體通道和表面圖案。除了結(jié)構(gòu)技術(shù)外，密封和封裝是建立受限微流體通道的核心過程。因此，不同器件層、覆蓋層或互連層的鍵合是一項關(guān)鍵工藝，可與NIL一道實現(xiàn)經(jīng)濟高效的大面積批量工藝。作為NIL和晶圓鍵合的先驅(qū)以及市場和技術(shù)領(lǐng)導zhe，EVG的NIL納米壓印技術(shù)解決方案可以在生物技術(shù)應用中使用的各種基板材料上制造各種小型結(jié)構(gòu)（從數(shù)百微米到二十納米），包括玻璃，硅和多種聚合物（例如，COC，COP，PMMA和PS）。每個EVG NIL解決方案適合不同的生產(chǎn)應用場景。例如，熱壓印可精確印制較大的結(jié)構(gòu)以及微米結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)的組合，并且在復制高縱橫比的特征或使用非常薄的基板時表現(xiàn)優(yōu)異。UV-NIL可在納米范圍內(nèi)提供jigao的精度、圖案保真度和產(chǎn)量。微接觸印刷是另一種NIL選項，它可以將生物分子等材料以dute的模式轉(zhuǎn)移到基材上。

憑借其成熟的晶圓級鍵合設(shè)備，EVG還可提供與NIL納米壓印結(jié)構(gòu)技術(shù)相匹配的封裝和鍵合工藝。從先進的室溫鍵合技術(shù)到等離子活化鍵合，乃至高品質(zhì)的氣密和真空封裝，不一而足。典型的解決方案包括用于玻璃和聚合物基板的EVG熱鍵合設(shè)備，通過在大范圍內(nèi)實現(xiàn)高壓和溫度均勻性，效果十分理想。EVG還提供了室溫選擇性粘合劑轉(zhuǎn)移技術(shù)，可在器件封裝之前簡化生物分子的摻入。

EVG業(yè)務發(fā)展總監(jiān)Thomas Uhrmann博士說：“EVG在為生物醫(yī)學研發(fā)提供產(chǎn)品和解決方案方面有著悠久的歷史，早在15年前，EVG就為新興的生物醫(yī)學和微流體研究應用安裝了第一個熱壓印系統(tǒng)。"“ EVG在這一領(lǐng)域積累的知識，加上我們在其他市場將創(chuàng)新技術(shù)投入批量生產(chǎn)的經(jīng)驗，使我們能夠很好地為生物醫(yī)學行業(yè)提供成熟的大批量制造工藝和服務，以支持下一代生物技術(shù)器件的生產(chǎn)。"

除設(shè)備和工藝解決方案外，EVG還通過其位于奧地利的公司總部及其北美和日本子公司的潔凈室設(shè)施，為客戶提供開發(fā)和中試生產(chǎn)服務。